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在科技日眉月异的今天,芯片行动信息本事的中枢组件,其制造本事的每一次改良齐牵动着大众科技产业的脉搏。光刻本事,行动芯片制造的关键方法,更是被誉为“东说念主类工业
“中国能在光刻机畛域结束弯说念超车吗?” 这是一个曩昔十多年里海外半导体圈反复争论的问题。光刻机是芯片制造的要道建造,而其中最难啃的一块硬骨头,即是极紫外光刻机
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